アドテック　プラズマ　テクノロジー

アドテック プラズマ テクノロジーは、半導体・液晶製造装置向けのプラズマ用高周波電源を主力とする専門メーカーです。マッチングユニットや計測器も手がけ、米国・英国・ベトナム・韓国・台湾・中国に子会社を展開するグローバル体制を構築。子会社IDXでは研究機関・大学向けの直流電源、パルス電源、マイクロ波電源、超電導電磁石用電源も提供しています。

主要事業

• 半導体・液晶関連事業 — プラズマ用高周波電源、マッチングユニット、計測器の設計・製造・販売

• 研究機関・大学関連事業 — 直流・パルス・マイクロ波電源、超電導電磁石用電源（IDX社）