筑波精工

筑波精工は、静電気力を利用した独自の静電チャック技術を核とする精密機器メーカー。半導体製造装置や液晶パネル製造工程で使用される静電吸着装置を開発・製造している。茨城県つくば市に本社を置き、精密位置決め技術を活かした産業用機器の提供を行っている。

主要事業

• 静電チャック装置の開発・製造・販売

• 半導体・液晶製造装置向け精密部品の提供

• 精密位置決め技術を用いた産業用機器の開発